新型激光比長儀有效提升長度精密測量能力水平

裝備制造業是常州、無錫等長三角地區城市的傳統和優勢產業，近年來更朝著“技術含量高、附加值高”的高端裝備制造方向發展。這對制造業的“眼睛”——長度幾何量測量的精度、范圍、種類等提出了新的更高要求。為此，中國計量院、常州市計量測試技術研究所牽頭，聯合無錫市計量測試中心、長春理工大學、中航工業青島前哨精密儀器有限公司等多家單位，開展了“新型多功能1m激光比長儀”的研制，旨在為常州、無錫計量技術機構分別搭建一套多功能、可擴展的一維精密測長設備和科研實驗平臺，提升其對周邊地區高端制造業在線紋尺等長度標準器校準以及其它長度幾何量精密測量方面的服務能力。
　　
   據中國計量院孫雙花副研究員介紹，裝置借鑒了中國計量院“激光干涉比長儀線紋工作基準”的精密激光干涉測長、高精度光電顯微鏡動態瞄準、精密氣浮控制等關鍵技術，可以實現線紋尺、激光干涉儀及位移傳感器等的動態高精度校準。裝置主體采用天然花崗巖結構，基于變形分析和建模進行了精心設計，床身尺寸3.4m×1m×0.7m，整體重達9噸，導軌直線度實測優于1μm/m，可有效避免移動工作臺運動導致的機械變形，抗震性能好，長期穩定性優。此外，顯微鏡工作距離達到28mm，適用于各種厚度的線紋尺刻線面朝向物鏡或背向物鏡檢測，線紋尺校準與其使用狀態一致，保障了量值傳遞的精度和可靠性。